.RU

Рабочая программа для направления 010700 «Физика», магистерская программа 010705 «Физика плазмы»





СТП ТПУ 2.4.01-02



УТВЕРЖДАЮ

Декан ЕНМФ

_______Ю. И. Тюрин

“___”__________ 2006 г.


Источники плазмы и плазменное оборудование

(название дисциплины)


Рабочая программа для направления 010700 «Физика»,

магистерская программа 010705 «Физика плазмы»


Факультет Естественных наук и математики (ЕНМ)

Обеспечивающая кафедра Водородной энергетики и плазменных технологий

Курс VI;

Семестр XI;

Учебный план набора магистров 2006 года


Распределение учебного времени

Лекции 36 часов (ауд.)

Практические занятия 18 часов (ауд.)
^ Всего аудиторных занятий 54 часа Самостоятельная (внеаудиторная) работа 81 час Общая трудоёмкость 135 часов
Форма отчетности экзамен


2006




Предисловие


1. Рабочая программа составлена на основе ГОС ВПО для направления 010700 Физика, утвержденного 17.03.2000г., рег.№ 176 ен/бак


РАССМОТРЕНА и ОДОБРЕНА на заседании обеспечивающей кафедры водородной энергетики и плазменных технологий _____________ (дата) протокол № ___.


2. Разработчик: ассистент каф. ВЭПТ ___________________А.В. Юрьева

3. Зав. кафедрой ВЭПТ, профессор ____________________ В.П. Кривобоков

4. Рабочая программа СОГЛАСОВАНА с факультетом естественных наук и математики и СООТВЕТСТВУЕТ действующему плану.
Зав. кафедрой ВЭПТ, профессор _______________________В.П. Кривобоков





Аннотация


СДМ.Р.03. Источники плазмы и плазменное оборудование (ИПиПО)

010700(б) – 010705(м)


Кафедра ВЭПТ ЕНМФ

Ассистент Юрьева Алёна Викторовна

Тел.(3822)-417954

Электронная почта: alencha@ngs.ru


Цель: ознакомить студентов с различными видами источников плазмы и плазменного оборудования, с областями применения каждого вида; сформировать навыки и умение работать с основными плазменными источниками; подготовить квалифицированных специалистов, владеющих системой теоретических знаний и навыков в области плазменного оборудования.

Содержание: теоретическая часть программы содержит информацию об источниках плазмы: основных физических процессах, конструкциях, свойствах и параметрах. Практическая часть включает изучение плазменного оборудования.


Курс VI; (XI семестр - экзамен)


Всего 135 ч., в том числе: самостоятельная работа -81 ч, аудиторная работа-54 ч: лекции - 36 ч., практические занятия - 18 ч.


The summary of the program on discipline "The plasma sources and the plasma equipment".


The content of the course: the theoretical part of the course contains information about the plasma sources: primary physical processes, constructions, properties and parameters. The practical part includes the studying of plasma.


The program is developed by the assistant A.V. Yureva, The Hydrogen Energy and Plasma Technology Department of The Natural Science and Mathematical Faculty.

E- mail: alencha@ngs.ru





^ Цели и задачи учебной дисциплины

Цель преподавания дисциплины: Целью преподавания дисциплины является подготовка специалистов, обладающих современными теоретическими представлениями об источниках плазмы и плазменного оборудования, освоивших методику экспериментальных исследований в этой области и научившихся работать с научной литературой с применением современных информационных технологий. Студенты должны научиться готовить научные доклады и статьи, быть способными к дальнейшему освоению принципов разнообразного технологического применения плазмы и пучков заряженных частиц в различных отраслях промышленности.

^ Задачи изложения и изучения дисциплины реализуются в следующих формах деятельности:


Содержание теоретического раздела дисциплины

( лекции 36 часов)


1. Плазма и газовый разряд (4 часа)

1.1. Плазма: определение, свойства.

1.2. Элементарные процессы в плазме.

1.3. Типы разряда.

1.4. Введение в теорию газового разряда.



2.Магнетроны (8 часов)

2.1. Магнетронная распылительная система (основные физические процессы, конструкции, свойства и параметры).

2.2. Дуальная магнетронная распылительная система.


  1. Электродуговые плазмотроны (4 часа)

3.1.Основные физические процессы.

3.2. Конструкции, свойства.


4. ВЧ, СВЧ плазмотроны (4 часа)

4.1.Основные физические процессы.

4.2. Конструкции, свойства.


5. Ионные источники (8 часов)

5.1Требования, предъявляемые к ионным источникам. Параметры ионных источников.

5.2. Извлечение ионов и первичное формирование ионных пучков.

5.3. Плазменные ионные источники (основные физические процессы, конструкции, свойства и параметры).

5.4. Другие виды ионных источников.


6. Оборудование ионной имплантации (6 часов)

6.1.Принцип действия установок ионной имплантации.

6.2.Требования к установкам ионной имплантации и их основные характеристики.

6.3.Классификация оборудования ионной имплантации.


7. Электронные источники (2 часа)

7.1. Плазменные источники электронов

7.2. Основные физические процессы, конструкции, свойства и параметры.


Содержание практического раздела дисциплины

( практические занятия 18 часов)


  1. Выступление с докладом по темам подготовленных рефератов (2 часа)




  1. Виды плазменного оборудования (6 часов)

  2. Области технологического применения оборудования (2 часа)

  3. Коллоквиум. (2 часа)

  4. Ознакомление с составными частями плазменного оборудования (на примере «Яшма - 2»). ТБ при работе на установках. (4 часа)

  5. Защита индивидуального задания (2 часа)


Самостоятельная (внеаудиторная) работа

(81 час)


Содержание самостоятельной работы студентов:

- самостоятельная проработка теоретического материала и подготовка к практическим занятиям (20 часов);

- подготовка к коллоквиуму (9 часов);

- работа над рефератом и подготовка доклада по нему (42 часа);

- подготовка индивидуального задания (10).

Примерные темы рефератов

  1. Высокочастотный газовый разряд.

  2. Пенинговский разряд.

  3. Ионный источник с полым катодом.

  4. Ионный источник с холловским дрейфом электронов.

  5. Электродуговые испарители.

  6. Газовый имплантер.


Текущий и итоговый контроль

Текущий контроль изучения курса студентами осуществляется по итогам выполнения индивидуального задания, сдаче коллоквиума и подготовке реферата.





Итоговым контролем является семестровый экзамен.

Результаты текущего контроля оцениваются в баллах в соответствии с прилагаемым рейтинг - листом.


^ Рейтинг – лист

по курсу «Источники плазмы и плазменное оборудование» для студентов VI курса ЕНМФ ТПУ XI семестр

Общий максимальный рейтинг за семестр – 800 баллов;

Лекционный рейтинг – 540 балла (36 часов*15балл/час);

Рейтинг за выполнение индивидуального задания – 100 баллов;

Рейтинг за коллоквиум – 60 баллов;

Рейтинг за реферат – 100 баллов;

К экзамену допускаются студенты, набравшие не менее 500 баллов.
^ Учебно-методическое обеспечение дисциплины
Основная литература:

  1. А. М. Ховатсон. Введение в теорию газового разряда. – М.: Атомиздат, 1980. – 180 с.

  2. М.Д. Габович. Физика и техника плазменных источников ионов. – М.: Атомиздат, 1972. – 304 с.

  3. В.В. Симонов, Л.А. Корнилов, А.В. Шашелев, Е.В. Шокин. Оборудование ионной имплантации. – М.: Радиосвязь, 1988. – 184 с.

  4. А. С. Коротеев. Электродуговые плазмотроны. – М.: Машиностроение, 1980. – 175с.

  5. Б.С. Данилин, В. К. Сырчин. Магнетронные распылительные системы. – М.: Радио и связь, 1982. – 73с.

  6. С.В. Дресвин. Основы теории и расчета высокочастотных плазмотронов. – Л.: Энергоатомиздат, 1991. – 312с.

  7. Ю.Е. Крейндель. Плазменные источники электронов. – М.: Атомиздат, 1977. – 144с.




Дополнительная литература:

  1. Физика и технология источников ионов / Под редакцией Я. Брауна. – М.: Мир, 1998. – 495 с.

  2. З.Ю. Готра. Технология микроэлектронных устройств: справочник. – М.: Радио и связь, 1991.

  3. И.А. Аброян, А.Н. Андронов, А.И. Титов. Физические основы электронной и ионной технологии. – М.: Высшая школа, 1984. – 320с.



rabochaya-programma-kursa-strategicheskij-konsalting-izdatelstvo-sankt-peterburgskogo-gosudarstvennogo-universiteta-ekonomiki-i-finansov-2008.html
rabochaya-programma-kursa-teorii-mezhdunarodnih-otnoshenij-i-regionalnoj-integracii-moskva-2009-oborotnaya-storona-titulnogo-lista-programma-kursa.html
rabochaya-programma-kursa-upravlenie-personalom-poyasnitelnaya-zapiska-uchebno-tematicheskij-plan-ochnoe-i-zaochnoe-otdelenie.html
rabochaya-programma-kursa-vneurochnoj-deyatelnosti-dlya-nachalnih-klassov-yunij-ekolog.html
rabochaya-programma-kursov-po-viboru-sever-i-zdorove-cheloveka-dlya-pedagogicheskih-universitetov-i-institutov.html
rabochaya-programma-latinskij-yazik-prednaznachena-dlya-studentov-pervogo-kursa-yuridicheskih-specialnostej-cel-kursa.html
  • school.bystrickaya.ru/dinastiya-demidovih-300-let-na-blago-rossii.html
  • grade.bystrickaya.ru/oao-surgutneftegaz-izveshaet-akcionerov-o-provedenii-godovogo-obshego-sobraniya-akcionerov-v-forme-sobraniya-kotoroe-sostoitsya.html
  • reading.bystrickaya.ru/konspekt-lekcij-moskva-2002-udk-53-utverzhdeno-uchenim-sovetom-mgapi.html
  • turn.bystrickaya.ru/politologiya-sbornik-zadach-i-testov.html
  • letter.bystrickaya.ru/obespechennost-resursami-stran-mira-p-p-bezrukih-ekonomika-i-vozmozhnie-masshtabi.html
  • znanie.bystrickaya.ru/6-organizacionno-procedurnoe-napravlenie-v-energosberezhenii-energoeffektivnost-proektiruemih-zdanij.html
  • predmet.bystrickaya.ru/samoanaliz-pedagogicheskoj-deyatelnosti-uchitelya-himii-valievoj-gulnaz-nailevni.html
  • literature.bystrickaya.ru/domashnee-zadanie-chto-izuchaet-istoriya-1.html
  • grade.bystrickaya.ru/nauchnie-zapiski-stranica-6.html
  • thesis.bystrickaya.ru/poryadok-raboti-v-chitalnom-zale-gosudarstvennogo-kazennogo-uchrezhdeniya-sverdlovskoj-oblasti-centr-dokumentacii-obshestvennih-organizacij-sverdlovskoj-oblasti.html
  • pisat.bystrickaya.ru/uchastniki-pervogo-vserossijskogo-fotokonkursa-dikaya-priroda-rossii-nagrazhdeni-v-moskve-informacionnoe-agentstvo-itar-tass-02112011.html
  • school.bystrickaya.ru/glava-4-priemi-perevoda-frazeologizmov-sankt-peterburg.html
  • shpargalka.bystrickaya.ru/vopros-11-zashita-produktov-pitaniya-furazha-i-vodi-ot-zarazheniya-radioaktivnimi-otravlyayushimi-veshestvami-i-bakterialnimi-sredstvami.html
  • holiday.bystrickaya.ru/momenti-raspredeleniya-nachalnim-momentom-k-go-poryadka-hk-nazivaetsya-chislo-opredelyaemoe-virazheniem.html
  • studies.bystrickaya.ru/dinamicheskie-strukturi-dannih-ocheredi.html
  • notebook.bystrickaya.ru/informacionnij-byulleten-administracii-sankt-peterburga-50-651-28-dekabrya-2009-g.html
  • znanie.bystrickaya.ru/5-differenciaciya-ispolneniya-lisheniya-svobodi-v-zavisimosti-ot-vida-ispravitelnogo-uchrezhdeniya-i-ustanovlennogo-v-nem-rezhima.html
  • notebook.bystrickaya.ru/i-was-being-waited-for-was-i-being-waited-i-was-not-being-waited-eksperimentalnij-kurs-lekcij-po-prakticheskoj.html
  • knowledge.bystrickaya.ru/ob-utverzhdenii-ezhegodnogo-gosudarstvennogo-doklad-stranica-8.html
  • gramota.bystrickaya.ru/xi-o-tom-kak-gospodin-batifol-ponevole-ubedilsya-v-neodolimoj-sile-lyubvi-papasha-goremika-dyuma.html
  • education.bystrickaya.ru/1-harakteristika-prirodnih-uslovij-rajona-otchyot-o-nauchno-issledovatelskoj-rabote-po-teme-environmental-impact.html
  • esse.bystrickaya.ru/razrabotka-tehnologii-polucheniya-pishevih-belkovih-produktov-iz-semyan-podsolnechnika-05-18-06-tehnologiya-zhirov-efirnih-masel-i-parfyumerno-kosmeticheskih-produktov.html
  • pisat.bystrickaya.ru/tematicheskoe-planirovanie-zanyatij-po-priobsheniyu-detej-programma-ozdorovleniya-i-formirovaniya-zdorovogo-obraza-zhizni.html
  • kolledzh.bystrickaya.ru/a-i-gretchenko-zasluzhennij-deyatel-nauki-rf.html
  • nauka.bystrickaya.ru/v-hakasii-proizoshlo-zemletryasenie-magnitudoj-7-zhertv-i-razrushenij-net-informacionnoe-agentstvo-itar-tass-10022011.html
  • prepodavatel.bystrickaya.ru/stroitelnie-normi-i-pravila-vnutrennij-vodoprovod-i-kanalizaciya-zdanij-snip-04-01-85-stranica-5.html
  • ekzamen.bystrickaya.ru/sostoyanie-zdorovya-novorozhdennih-ob-osnovnih-garantiyah-prav-rebenka-v-rossijskoj-federacii.html
  • esse.bystrickaya.ru/programma-professionalnogo-modulya-pm-02.html
  • zanyatie.bystrickaya.ru/rasskaz-latishskogo-strelka-stranica-14.html
  • textbook.bystrickaya.ru/himicheskij-sostav-pishevih-produktov.html
  • esse.bystrickaya.ru/rasskaz-uchitelya-o-shkole-chtenie-stihotvorenij-habibulli-gabitova-v-shkole.html
  • pisat.bystrickaya.ru/tretego-zasedaniya.html
  • textbook.bystrickaya.ru/gradostroitelstvo-kanadi-chast-2.html
  • essay.bystrickaya.ru/diplomnij-proekt-studenta-gruppi-it-4-ribakova-a-v-na-temu-programma-obrabotki-anket-oprosa-studentov-kafedri.html
  • letter.bystrickaya.ru/mezhdunarodnaya-nauchno-tehnicheskaya-konferenciya-sovremennie-problemi-metallovedeniya-splavov-cvetnih-metallov.html
  • © bystrickaya.ru
    Мобильный рефератник - для мобильных людей.